是一種無(wú)色液體；熔點(diǎn)250K、沸點(diǎn)409K，有制激性氣味。它在水中或潮濕的空氣中都極易水解，冒出大量的白煙。TiCl4+3H2O==H2TiO3+4HCl因此TiCl4在軍事上作為人造煙霧劑，猶其是用在海洋戰中。在農業(yè)上，人們用TiCl4形成的濃霧地面，減少夜間地面熱量的散失，保護蔬菜和農作物不受?chē)篮?、霜凍的危害?/p>

干涉條紋間距Δ0，條紋移動(dòng)Δ，臺階高為t=(Δ/Δ0)*0.5λ，測出Δ0和Δ，即可，其中λ為單色光波長(cháng)，如用白光，λ取530nm。稱(chēng)重法如果薄膜面積A，密度ρ和質(zhì)量m可以被精測定的話(huà)，膜厚t就可以計算出來(lái)：d=m/Aρ。3石英晶體振蕩器法廣泛應用于薄膜淀積過(guò)程中厚度的實(shí)時(shí)測量，主要應用于淀積速度，厚度的監測，還可以反過(guò)來(lái)（與電子技術(shù)結合）控制物質(zhì)蒸發(fā)或濺射的速率，從而實(shí)現對于淀積過(guò)程的自動(dòng)控制。

隨著(zhù)科技的進(jìn)步和精密儀器的應用，薄膜厚度測量方法有很多，按照測量的方式分可以分為兩類(lèi)：直接測量和間接測量。直接測量指應用測量?jì)x器，通過(guò)接觸（或光接觸）直接感應出薄膜的厚度。常見(jiàn)的直接法測量有：螺旋測微法、精密輪廓掃描法（臺階法）、掃描電子顯微法（SEM）；間接測量指根據一定對應的物理關(guān)系，將相關(guān)的物理量經(jīng)過(guò)計算轉化為薄膜的厚度，從而達到測量薄膜厚度的目的。