干涉條紋間距Δ0，條紋移動(dòng)Δ，臺階高為t=(Δ/Δ0)*0.5λ，測出Δ0和Δ，即可，其中λ為單色光波長(cháng)，如用白光，λ取530nm。稱(chēng)重法如果薄膜面積A，密度ρ和質(zhì)量m可以被精測定的話(huà)，膜厚t就可以計算出來(lái)：d=m/Aρ。3石英晶體振蕩器法廣泛應用于薄膜淀積過(guò)程中厚度的實(shí)時(shí)測量，主要應用于淀積速度，厚度的監測，還可以反過(guò)來(lái)（與電子技術(shù)結合）控制物質(zhì)蒸發(fā)或濺射的速率，從而實(shí)現對于淀積過(guò)程的自動(dòng)控制。

塑料產(chǎn)品已成為當今的應用品，每天有數以?xún)|計的塑料產(chǎn)品從模具中被產(chǎn)出送入工業(yè)和生活領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)涂層后的模具可有效解決注塑生產(chǎn)中脫模性差、模具壽命短、修模頻繁等問(wèn)題，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率和減少不良產(chǎn)品的出現，達到節約生產(chǎn)成本的效用。注塑模具涂層后所具備的優(yōu)勢：更好的維護成本涂層增加模具硬度和抗腐蝕能使模具的維護周期增加，減少設備因維護停機時(shí)間同即模具的維護也變成簡(jiǎn)單的清理工作。

第二：靶毒的影響因素影響靶中的因素主要是反應氣體和濺射氣體的比例，反應氣體過(guò)量就會(huì )導致靶*。反應濺射工藝進(jìn)行過(guò)程中靶表面濺射溝道區域內出現被反應生成物覆蓋或反應生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長(cháng)的過(guò)程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率，化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下，參與化合物生成的反應氣體量增加，化合物生成率增加。如果反應氣體量增加過(guò)度，化合物覆蓋面積增加，如果不能及時(shí)調整反應氣體流量，化合物覆蓋面積增加的速率得不到抑制，濺射溝道將進(jìn)一步被化合物覆蓋，當濺射靶被化合物全部覆蓋的時(shí)候，靶完全*，在靶面上沉積一層化合金屬膜。使其很難被再次反應。