為了提高鈦的耐蝕性，研究出氧化、電鍍、等離子噴涂、離子氮化、離子注入和激光處理等表面處理技術(shù)，對鈦的氧化膜起到了增強保護性作用，獲得了所希望的耐腐蝕效果。針對在硫酸、鹽酸、溶液、高溫濕氯和高溫氯化物等生產(chǎn)中對金屬材料的需要，開(kāi)發(fā)出鈦-鉬、鈦-鈀、鈦-鉬-鎳等一系列耐蝕鈦合金。鈦鑄件使用了鈦-32鉬合金，對常發(fā)生縫隙腐蝕或點(diǎn)蝕的環(huán)境使用了鈦-0.3鉬-0.8鎳合金或鈦設備的局部使用了鈦-0.2鈀合金，均獲得了很好的使用效果。

更好的表面質(zhì)量涂層保護了模具成型面不易損壞，使得高成本制作的拋光面、放電面的長(cháng)久使用。同時(shí)注塑材料在涂層后的型腔內流動(dòng)更加順暢，易于成型更多合格產(chǎn)品。面對更難加工材料高硬度、高玻纖材料的生產(chǎn)對模具關(guān)鍵部位損害嚴重，涂層在保護此類(lèi)模具上性能突出。更順暢的模具運動(dòng)頂針、閥針、斜銷(xiāo)等模具部件依靠涂層的幫助可實(shí)現無(wú)油潤滑，避免模具部件卡死的同時(shí)，也減少油污對注塑產(chǎn)品的污染。

第二：靶毒的影響因素影響靶中的因素主要是反應氣體和濺射氣體的比例，反應氣體過(guò)量就會(huì )導致靶*。反應濺射工藝進(jìn)行過(guò)程中靶表面濺射溝道區域內出現被反應生成物覆蓋或反應生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長(cháng)的過(guò)程。如果化合物的生成速率大于化合物被剝離的速率，化合物覆蓋面積增加。在一定功率的情況下，參與化合物生成的反應氣體量增加，化合物生成率增加。如果反應氣體量增加過(guò)度，化合物覆蓋面積增加，如果不能及時(shí)調整反應氣體流量，化合物覆蓋面積增加的速率得不到抑制，濺射溝道將進(jìn)一步被化合物覆蓋，當濺射靶被化合物全部覆蓋的時(shí)候，靶完全*，在靶面上沉積一層化合金屬膜。使其很難被再次反應。