氮化鈦特性：典型、通用的耐磨涂層，細微納米級顆粒的涂層顯微結構兼備高韌性。高硬度，耐高溫、強抗腐蝕性，此鍍鈦加工涂層的工作溫度在350度以?xún)刃Ч?。在鍍鈦生產(chǎn)中，由于各種原因，導致各種有害雜質(zhì)進(jìn)入鍍鈦液。雜質(zhì)的種類(lèi)繁多，大致有金屬雜質(zhì)、金屬氧化物、非金屬雜質(zhì)和種種不溶性懸浮物、有機雜質(zhì)等。當一種或幾種有害雜質(zhì)積累到一定程度時(shí)，就會(huì )影響鍍液性能和鍍層質(zhì)量?；蛘咴陔s質(zhì)積累到有可能影響鍍鈦層質(zhì)量之前，凈化處理鍍鈦液，以保證鍍鈦藥液的穩定性。

極限真空度：（單位：P：在規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向平穩的低壓強。一：靶面金屬化合物的形成。由金屬靶面通過(guò)反應濺射工藝形成化合物的過(guò)程中，化合物是在哪里形成的呢？由于活性反應氣體粒子與靶面原子相碰撞產(chǎn)生化學(xué)反應生成化合物原子，通常是放熱反應，反應生成熱必須有傳導出去的途徑，否則，該化學(xué)反應無(wú)法繼續進(jìn)行。在真空條件下氣體之間不可能進(jìn)行熱傳導，所以，化學(xué)反應必須在一個(gè)固體表面進(jìn)行。反應濺射生成物在靶表面、基片表面、和其他結構表面進(jìn)行。

原因：蒸發(fā)舟內鋁料太滿(mǎn)。解決方法：下降送鋁速度；前進(jìn)蒸發(fā)舟電流。真空室內蒸發(fā)舟之間呈現短路。解決方法：打掃短路。真空室內雜質(zhì)飛濺鍍鋁時(shí)薄膜呈現拉伸現象原因：基材張力太大。解決方法：調節放卷、卷取張力操控系統，恰當減少張力。冷卻系統作業(yè)反常。解決方法：查看冷卻系統，并打掃毛病。薄膜外表呈現褐色條紋原因：真空度低解決方法：清洗真空室內的送鋁、蒸鍍設備、冷卻系統、放卷、卷取設備及導輥；查看抽真空系統；下降環(huán)境濕度。薄膜開(kāi)釋氣體。解決方法：薄膜預單調；延伸抽真空時(shí)刻。噴鋁過(guò)多。解決方法：前進(jìn)車(chē)速；下降蒸發(fā)舟電流；下降送鋁速度。蒸發(fā)舟內有雜質(zhì)。解決方法：清洗蒸發(fā)舟及熱屏蔽板。