電弧增強輝光放電刻蝕這個(gè)模塊的設計原理和濺射刻蝕模塊的設計原理相似(圖8。取代在基底背面的磁控系統的是與空心陽(yáng)極底部結合的電弧蒸發(fā)器，電板蒸發(fā)器利用擋板與基底隔開(kāi)。在基底附近的附加電極收集來(lái)自擋板后面的電弧等離子體的電子。這些電子在基底附近產(chǎn)生一個(gè)強且寬的等離子體。等離子體的密度可以輕易地利用蒸發(fā)器的電流和附加電極來(lái)控制。在操作中，與在反轉磁控濺射情況下相同的直流或中頻電源可以用于提供空心陽(yáng)極的偏壓。在初步的試驗中，已經(jīng)發(fā)現對于鋼帶的刻蝕率在12nm/s的級別內，并且僅使用了濺射刻蝕模塊所需偏壓電源的一半。

5．燃有毒物品要妥善保管，以防毒。6．酸洗夾具應在通風(fēng)裝置內進(jìn)行，并要戴橡皮手套。7．把零件放入酸洗或堿洗槽中時(shí)，應輕拿輕放，不得碰撞及濺出。平時(shí)酸洗槽盆應加蓋。8．工作完畢應斷電、斷水。真空金屬表面不銹鋼鍍鈦加工是指在真空條件下，采用低電壓、大電流的電弧放電技術(shù)，利用真空鍍膜設備氣體放電使鈦板蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質(zhì)與氣體都發(fā)生電離，利用電場(chǎng)的加速作用，使被蒸發(fā)物質(zhì)及其反應產(chǎn)物沉積在工件上。

在工藝上碳化鈦比氮化鈦工藝難一些，操控規模更窄。以上的兩種鍍層工藝已經(jīng)十分成熟，分裝飾鍍和刀具鍍，裝飾鍍一般很薄不超越1微米，東西鍍要求較厚3-5微米。膜層比較粗糙的原因如基體外表光潔度不高，鍍膜前的外表離子轟擊過(guò)長(cháng)等等。鍍鈦一種通用涂層加工工藝，金屬外表涂層ＴiＮ（鍍鈦）后，穩定性十分好，摩擦系數大大的下降，另外，鍍鈦后其十分有吸引力的金色外表及高耐磨性一般用于裝飾職業(yè)；鍍鈦后高熱穩定性及化學(xué)慵懶的原因，廣泛用于模具及食物等職業(yè).