感應加熱式蒸發(fā)鍍膜

利用高頻電磁場(chǎng)感應加熱，使材料汽化蒸發(fā)在基片表面凝結成膜的技術(shù)。

優(yōu)點(diǎn)蒸發(fā)速率大，可比電阻蒸發(fā)源大10倍左右  蒸發(fā)源的溫度穩定，不易產(chǎn)生飛濺現象坩堝溫度較低，坩堝材料對膜導污染較少缺點(diǎn)蒸發(fā)裝置必須屏蔽造價(jià)高、設備復雜

在真空中，高能粒子轟擊材料表面，使其原子獲得足夠的能量而逸出表面，到達襯底凝結成膜的技術(shù)。

與真發(fā)鍍膜相比，濺射鍍膜適用于所有（包括高熔點(diǎn)）材料，具有附著(zhù)力強、成分可控、易于規?；a(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)。

但其工作氣壓低于蒸發(fā)鍍膜，因此膜層的含氣量和孔隙率大于蒸發(fā)鍍膜。

射頻濺射

采用射頻電源代替直流電源，在靶和襯底間施加高頻電壓，濺射時(shí)，靶極會(huì )產(chǎn)生自偏壓效應（即靶極會(huì )自動(dòng)處于負電位狀態(tài)），使絕緣靶的濺射得到維持。常用的頻率約為13.56兆赫。

優(yōu)點(diǎn)可以濺射所有材料，包括導體和絕緣體濺射可大規模生產(chǎn)

磁控濺射

磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入正交電磁場(chǎng)，把二次電子束縛在靶表面，成螺旋狀運行來(lái)增強電離效率，增加離子密度和能量以增加濺射率。電源方面可同時(shí)配備直流和射頻兩種。

工具鍍的目的：主要是為了提高工件的表面硬度和耐磨性，降低表面的摩擦系數，提高工件的使用壽命；這方面主要應用在各種刀剪、車(chē)削刀具（如車(chē)刀、刨刀、銑刀、鉆頭等等）等產(chǎn)品中。

雖然使用PVD鍍膜技術(shù)能夠鍍出的膜層，但是PVD鍍膜過(guò)程的成本其實(shí)并不高，它是一種性?xún)r(jià)比非常高的表面處理方式，所以近年來(lái)PVD鍍膜技術(shù)發(fā)展得非?？?。PVD鍍膜已經(jīng)成為五金行業(yè)表面處理的發(fā)展方向。