氮化鈦是鍍鈦涂層工藝的一種，通常情況下，這種氮化鈦的顏色為金色，氮化鈦不僅性能優(yōu)異，且它的硬度還高達2300HV，在化工、材料等行業(yè)中運用十分廣泛，那么，氮化鈦涂層有哪些特點(diǎn)呢

　　氮化鈦通常都是金色，其工作的溫度可承受的限度為580攝氏度，可以適應于低溫涂層，0.23VSNi的摩擦系數可以有效的減少摩擦力，適合于低溫零件中使用，

射頻濺射

采用射頻電源代替直流電源，在靶和襯底間施加高頻電壓，濺射時(shí)，靶極會(huì )產(chǎn)生自偏壓效應（即靶極會(huì )自動(dòng)處于負電位狀態(tài)），使絕緣靶的濺射得到維持。常用的頻率約為13.56兆赫。

優(yōu)點(diǎn)可以濺射所有材料，包括導體和絕緣體濺射可大規模生產(chǎn)

磁控濺射

磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入正交電磁場(chǎng)，把二次電子束縛在靶表面，成螺旋狀運行來(lái)增強電離效率，增加離子密度和能量以增加濺射率。電源方面可同時(shí)配備直流和射頻兩種。

靶材承受的功率密度是有限的.靶面溫度過(guò)高會(huì )導致靶材熔化或引起弧光放電.在直接水冷的情況下,金屬靶材的靶功率密度允許值為10~30W/cm2.根據選定的靶電壓和允許的靶功率密度,即可確定靶電流密度.

降低Ar壓強有利于提高鍍膜速率,還有利于提高膜層結合力和膜層致密度.磁控濺射的Ar壓強通常選為0.5Pa,氣體放電的阻抗隨Ar壓強的降低而升高.磁控濺射時(shí),可以適當調節Ar壓強,